Подробное описание документа

   Электронная техника. Серия 3, Микроэлектроника : научно-техн. сб. - М. : Изд-во ЦНИИ "Электроника", 1972.
   Вып. 2(36). - 1972. - 134 с. : ил. - Библиогр. в конце ст.

Статьи настоящего сборника охватывают широкий круг вопросов, рассматривающих оптимальные технологические режимы получения тонкоплёночных слоёв металлов, диэлектриков и полупроводников, критерии поиска эффективных композиций фоторезистов, радиационную стойкость МДП структур. Значительная группа статей посвящена созданию функциональных приборов на основе монокристаллических полупроводников, в том числе обеспечению идентичности их параметров. Кроме того, рассматривается создание оптоэлектронных приборов и матриц на их основе, расчёт колебательных систем с распределёнными параметрами, стабильность частоты генераторов Ганна, а также анализируется распространение электромагнитных волн вдоль реальной полосковой линии.
В конце сборника изложены вопросы улучшения параметров контрольно-измерительной аппаратуры и технико-экономические аспекты использования её в производстве микроэлектронных приборов.