Подробное описание документа
Статья
Новиков Ю. Н.
Моделирование процесса вакуумного напыления многокомпонентных тонких покрытий для регистрации оптической информации / Новиков Ю. Н., Лукин К. Б., Сорокоумов С. Б. // Автоматизация конструирования и технологической подготовки производства : сборник статей / ред. Белов Б. И. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 1984. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 415). -
004.3 Аппаратные средства. Техническое обеспечение