Подробное описание документа

Статья

Завитаев Э. В., Русаков О. В., Чухлеб Е. П.
Расчет напряженности электрического поля и плотности тока внутри тонкого металлического слоя с учетом скин-эффекта / Завитаев Э. В., Русаков О. В., Чухлеб Е. П. // Микроэлектроника. - 2023. - Т. 52, № 1. - С. 32-45.

УДК
539.23 Получение тонких слоев, тонких пленок

Авторы МГТУ

Завитаев Эдуард Валерьевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 32-45

Журнал

Микроэлектроника.
Т. 52, № 1. - 2023.

подробнее