Подробное описание документа

Гуртов В. А., Логинов Д. В.
   Микросистемы : учебное пособие для втузов / Гуртов В. А., Логинов Д. В. ; Петрозаводский государственный ун-т. - Петрозаводск : Изд-во ПетрГУ, 2021. - 187 с. : ил. - Библиогр.: с. 175-187. - ISBN 978-5-8021-3761-1.

В учебном пособии представлены основные структурные элементы и принципы построения микросистем, использующие различные физические явления для регистрации входного сигнала и формирования выходного сигнала. Микросистемы подразделяются в соответсвии с этим на микроэлектромеханические системы (МЭМС), оптические МЭМС, микрофлюидные (биомедицинские) МЭМС. Рассматриваются физические основы работы датчиков и исполнительных механизмов в микросистемах, пакеты прикладных программ для компьютерного моделирования элементов микросистем. Описаны технологии, используемые в производстве МЭМС, а также особенности корпусирования и герметизации, связанные с трехмерностью микросистем. Рассмотрены особенности и подходы при разработке наноэлектромеханических систем (НЭМС).
Предназначено для студентов и аспирантов вузов, специализирующихся в области микроэлектроники, научных сотрудников и разработчиков элементной базы.