Подробное описание документа

Михайлов В. П., Копылов А. А.
   Платформа для активной виброизоляции нанотехнологического оборудования / Михайлов В. П., Копылов А. А. // Наноиндустрия. - 2023. - № 5. - С. 282-287.

УДК

620.3 Нанотехнология

Авторы МГТУ

• Михайлов Валерий Павлович

Статья опубликована в следующих изданиях