Подробное описание документа

Статья

Цветков Ю. Б.
Прогнозирование совмещаемости топологических рисунков при фотолитографии / Цветков Ю. Б. // Проблемы автоматизации и надёжности оборудования в электронной технике : сборник статей / ред. Камышный Н. И. ; МВТУ имени Н. Э. Баумана. - М., 1980. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 334). - С. 36-45.

УДК
621.38 Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц

Авторы МГТУ

Цветков Юрий Борисович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 36-45

Проблемы автоматизации и надёжности оборудования в электронной технике : сборник статей / ред. Камышный Н. И. ; МВТУ имени Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МВТУ им. Н. Э. Баумана, 1980. - 145 с. : рис., табл. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 334). - Библиогр. в конце статей.

подробнее