Подробное описание документа

Журнал

Нанотехнологии. Разработка. Применение. ХХ1 век.
Т. 16, № 2. - 2024.

Читать онлайн

Скачать оглавление

Общее кол-во в фондах
1 экз.

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Содержание

с. 54-71

Статья

Сагателян Г. Р., Бугорков К. Н.
Анализ высокочастотного разряда при плазмохимическом травлении кварцевого стекла гексафторидом серы / Сагателян Г. Р., Бугорков К. Н.

подробнее