Подробное описание документа

Фомин М. В., Фомина И. М.
   Расчет основных характеристик гибридного вакуумного насоса / Фомин М. В., Фомина И. М. // Справочник. Инженерный журнал. - 2024. - № 7. - С. 8-13.

Представлены данные для расчета основных характеристик гибридного турбомолекулярного вакуумного насоса, работающего в режиме молекулярного течения газа. Насос содержит блок турбомолекулярных ступеней, промежуточную ступень и молекулярную ступень с винтовыми каналами, выполненными на цилиндрическом роторе. Для определения вероятностей перехода молекул газа через всю проточную часть насоса в прямом и обратном направлениях использован метод Монте-Карло в трехмерной постановке. Математическая модель позволяет оценить влияние динамических и геометрических параметров проточной части на основные характеристики насоса с целью их оптимизации.
Ключевые слова: Турбомолекулярный гибридный вакуумный насос, максимальная быстрота действия, максимальное отношение давлений, метод Монте-Карло

УДК

621.521 Вакуумные насосы. Воздушные насосы в целом. Создание давлений и вакуума

Авторы МГТУ

• Фомин Марк Викторович
• Фомина Ирина Марковна

Статья опубликована в следующих изданиях