Подробное описание документа

Вишняков Г. Н., Минаев В. Л., Самойленко А. А.
   Государственный первичный специальный эталон единицы комплексного показателя преломления и единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий ГЭТ 203-2024 / Вишняков Г. Н., Минаев В. Л., Самойленко А. А. // Измерительная техника. - 2024. - № 6. - С. 4-11.

Во многих областях науки и техники, таких как оптика, микроэлектроника, оптоэлектроника, интегральная оптика, стоит задача измерения оптических и геометрических характеристик тонких плёнок. Необходимость обеспечения единства измерений в данных областях обусловила создание Государственного первичного эталона единиц комплексного показателя преломления ГЭТ 203-2012. С помощью ГЭТ 203-2012 комплексный показатель преломления измеряли методом спектральной эллипсометрии через измерение эллипсометрических углов. Однако в ГЭТ 203-2012 не было предусмотрено метрологическое обеспечение измерений толщины покрытий при одновременном измерении их комплексного показателя преломления. В период 2020-2023 гг. во ВНИИОФИ ГЭТ 203-2012 усовершенствован, расширены его функциональные возможности в части воспроизведения единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий. Усовершенствованный эталон утверждён как Государственный первичный специальный эталон единицы комплексного показателя преломления и единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий ГЭТ 203-2024. ГЭТ 203-2024 обеспечивает единство измерений комплексного показателя преломления и единицы длины в области измерений толщины оптических в диапазоне от 1 нм до 50 мкм. Расширение диапазона достигнуто в результате введения в состав ГЭТ 203-2024 эллипсометра с инфракрасным диапазоном длин волн, оснащённого фурье-спектрометром FTIR (fourier transform infrared). Расширение диапазона измерений толщины тонкослойных оптических покрытий важно для таких отраслей, как оптика, микроэлектроника, оптоэлектроника, интегральная оптика и других областей науки и техники. Представлены состав, принцип работы и основные метрологические характеристики ГЭТ 203-2024.
Ключевые слова: государственный первичный эталон, комплексный показатель преломления, тонкослойные оптические покрытия

УДК

681.785 Приборы для измерения оптических свойств. Оптические приборы для определения неоптических свойств

Авторы МГТУ

• Вишняков Геннадий Николаевич

Статья опубликована в следующих изданиях