Подробное описание документа

Тимашова Л. Н., Кулакова Н. Н.
   Лазерный интерферометр для контроля параболических поверхностей / Тимашова Л. Н., Кулакова Н. Н. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2024. - № 2. - С. 70-83.

Проведен теоретический анализ процесса формирования интерференционной картины в лазерном интерферометре на основе волновой теории для определения параметров, влияющих на распределение освещенности в интерференционной картине. Рассмотрена схема интерферометра, реализующая метод анаберрационных точек для контроля отражающих и линзовых параболических поверхностей диаметром 10...80 мм с большим относительным отверстием. Интерферометр содержит лазерный осветитель, светоделительный элемент в виде полупрозрачной плоскопараллельной пластинки с микрозеркальным покрытием (диаметром 0,5...1 мм) в центре, эталонное плоское зеркало. Рассмотрены также схемы интерферометра для контроля выпуклых и вогнутых параболических поверхностей. Получены выражения для распределения амплитуды излучения и освещенности в интерференционной картине с учетом волновой аберрации контролируемой поверхности. Приведена методика измерения погрешности контролируемой параболической поверхности по величине искажения периода интерференционной картины. Величина искажения в изображении интерференционной картины должна быть не меньше размера светочувствительного элемента выбранного матричного приемника излучения. Приведены формулы для расчета параметров компонентов интерферометра исходя из требуемой погрешности измерения и параметров матричного приемника излучения и пример расчета параметров компонентов интерферометра и погрешности контроля параболической поверхности. Показано, что погрешности измерения формы вогнутой и выпуклой параболических поверхностей составляют σ = λ / 44 и σ = λ / 66
Ключевые слова: интерферометр, интерференционная картина, интерференционная полоса, полупрозрачная плоскопараллельная пластинка, плоское зеркало, матричный приемник излучения, волновой фронт, лазер

УДК

535.317.2 Оптические системы

Авторы МГТУ

• Тимашова Лариса Николаевна
• Кулакова Надежда Николаевна

Статья опубликована в следующих изданиях