Подробное описание документа
Статья
Деулин Е. А.
Развитие автоматизированного вакуумного технологического оборудования / Деулин Е. А. // Проблемы автоматизации и надёжности оборудования в электронной технике : сборник статей / ред. Камышный Н. И. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 1978. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 267). -
621 Общее машиностроение. Ядерная техника. Электротехника. Технология машиностроения в целом
Статья опубликована в следующих изданиях
с. 39-51
Проблемы автоматизации и надёжности оборудования в электронной технике : сборник статей / ред. Камышный Н. И. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МВТУ им. Н. Э. Баумана, 1978. - 143 с. : табл., граф. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 267). - Библиогр. в конце статей .