Подробное описание документа

Статья

Цветков Ю. Б.
Взаимосвязь производительности и надежности установок совмещения и экспонирования для фотолитографии / Цветков Ю. Б. // Проблемы автоматизации и надёжности оборудования в электронной технике : сборник статей / ред. Камышный Н. И. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 1978. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 267). - С. 81-91.

УДК
621 Общее машиностроение. Ядерная техника. Электротехника. Технология машиностроения в целом

Авторы МГТУ

Цветков Юрий Борисович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 81-91

Проблемы автоматизации и надёжности оборудования в электронной технике : сборник статей / ред. Камышный Н. И. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МВТУ им. Н. Э. Баумана, 1978. - 143 с. : табл., граф. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 267). - Библиогр. в конце статей.

подробнее