Подробное описание документа

Диссертация

Баклыков Д. А.
Исследование и разработка физико-технологических методов создания оптических микроэлектромеханических систем : 2. 2. 3-Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники : дис... ктн / Баклыков Д. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (Национальный исследовательский университет). - М., 2024. - 171 л. : ил. - Библиогр.: л. 151-171.

УДК
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметные рубрики

Микроэлектронные приборы - Диссертации

Оптические системы - Диссертации

Общее кол-во в фондах
1 экз.

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л