Подробное описание документа
Статья
Петров В. Я.
Методика изготовления образцов для определения свойств напыленных образцов / Петров В. Я., Смирнов Ю. В., Горшков Б. Н. // Теория и практика плазменного напыления : сборник статей / МВТУ имени Н. Э. Баумана. - 1977. - Вып. 1 / ред. Саксельцев В. Г. -
621.793 Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них