Подробное описание документа
Статья
Определение характеристик упругости и остаточных напряжений в плазменных покрытиях / Дехтярь Л. И., Зильберман Б. В., Игнатьков Д. А., Андрейчук В. К., Горшков Б. Н. // Теория и практика плазменного напыления : сборник статей / МВТУ имени Н. Э. Баумана. - 1977. - Вып. 1 / ред. Саксельцев В. Г. -
621.793 Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них