Подробное описание документа
Статья
Тугоплавкие окислы в технике плазменного напыления / Иванов В. М., Кузовиткин В. Ф., Калинин Г. М., Пузряков А. Ф. // Теория и практика плазменного напыления : сборник статей / МВТУ имени Н. Э. Баумана. - 1977. - Вып. 1 / ред. Саксельцев В. Г. -
621.793 Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них