Подробное описание документа

   Статья

   Расчет теплофизических свойств компонентов газовой смеси и температурных полей в цилиндрических реакционных камерах при формообразовании покрытий из вольфрама методом осаждения из газовой фазы / Плотников Ю. П., Саксельцев В. Г., Столяров А. А., Янтиков А. Н., Аверин И. Б., Зубарева М. И. // Теория и практика плазменного напыления : сборник статей / МВТУ имени Н. Э. Баумана. - 1977. - Вып. 1 / ред. Саксельцев В. Г. - С. 118-126.

УДК

621.793 Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них

Авторы МГТУ

• Саксельцев Виктор Гаврилович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 118-126

   Теория и практика плазменного напыления : сборник статей / МВТУ имени Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МВТУ им. Н. Э. Баумана, 1977. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № ...).
   Вып. 1 / ред. Саксельцев В. Г. - 1977. - 126 с. : ил. - (... ; № 237). - Библиогр. в конце статей.

подробнее