Подробное описание документа

Кириллова А. Е., Мельников Д. М., Мельникова М. А.
   Деметаллизация полимерной пленки методом лазерной абляции / Кириллова А. Е., Мельников Д. М., Мельникова М. А. // Наукоемкие технологии в машиностроении : материалы 15-ой Международной научно- технической конференции, Москва, 1-3 ноября 2023 года : в 2 т. / Министерство науки и высшего образования РФ, МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет), Центральный аэрогидродинамический институт им. Н. Е. Жуковского, Институт машиноведения им. А. А. Благонравова Российской академии наук ; общ. ред. Лавриненко В. Ю. - 2024. - Т. 2. - С. 209-215.

Представлены и проанализированы результаты экспериментов по деметаллизации полимерной пленки методом лазерной абляции. Актуальность исследования обусловлена тем, что удаление металлического слоя с полимерной пленки по заданному контуру для использования в электронных устройствах требует высокой точности и производительности, которых трудно достичь традиционными методами очистки: механическим или химическим (травлением). Использование лазерной очистки имеет ряд преимуществ перед другими методами: полностью бесконтактный и дистанционный характер воздействия; отсутствие повреждений поверхности; возможность осуществлять обработку с высокой точностью; полностью автоматизированный процесс; безопасность и отсутствие опасных отходов. Для создания образцов использованы листы полимерной пленки, ламинированные тонкой алюминиевой фольгой. В процессе обработки с поверхности пленки удалялись тонкие дорожки шириной 300 мкм. В исследовании варьировались: плотность энергии, погонная энергия и коэффициент перекрытия импульсов. Плотность энергии определяет близость к порогу абляции полимера, погонная энергия определяет удельное тепловложение, а коэффициент перекрытия при фиксированной частоте следования импульсов влияет на эффект накопления. В ходе исследования установлены закономерности, определяющие пределы повреждения полимерной пленки от избыточного тепловложения или эффекта накопления, а также диапазон режимов, приводящих к эффективному удалению металлической фольги с качественной кромкой. Достигнута высокая скорость удаления материала, порядка 70 мм/с, актуальная для промышленного внедрения технологии.
Ключевые слова: лазерная абляция, лазерная очистка, полимерная пленка, деметаллизация, порог абляции