Подробное описание документа

Хоа К. В.
   Разработка нейросетевой модели для определения диаметра микросфер полистирола в процессе плазменного травления / Хоа К. В. // Наука, технологии и бизнес : материалы 6-ой Межвузовской конференции аспирантов, соискателей и молодых учёных, Москва, 16-18 апреля 2024 года / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - М., 2024. - С. 484-489.

Представленj исследование процесса использования нейросетевых алгоритмов для определения скорости травления в зависимости от времени травления и расходов газа O2 и Ar при плазменном травлении для получения неплотно-упакованных фотонно-кристаллических структур. Приведены результаты моделирования и их сопоставление с экспериментальными данными.
Ключевые слова: нейросеть, нейросетевое моделирование, плазменное травления, фотонный кристалл, неплотно-упакованная фотонно-кристаллическая структура.