Подробное описание документа

   Свойства нитрида кремния легированного атомами эрбия / Подлесных И. М., Ковалев М. С., Тархов М. А., Кудряшов С. И. // ХОЛОЭКСПО 2024: : тезисы докладов 21-ой Международной конференции по голографии и прикладным оптическим технологиям, Казань, 9-13 сентября 2024 года / Общества ограниченной ответственности "Холоэкспо наука и практика". - М., 2024. - С. 121-123.

В настоящей работе было проведено лазерное легирование нитрида кремния атомами эрбия с целью создания источника излучения, интегрированного в материал фотонной интегральной схемы. Был проведен анализ кристаллической структуры образцов, демонстрирующий ее сохранение после лазерной обработки. Посредством анализа концентрации химических элементов было показано перераспределение атомов эрбия по глубине нитрида кремния. К тому же была продемонстрирована широкополосная фотолюминесценция на длине волны 980 нм при длине волны накачки 785 нм.
Ключевые слова: Нитрид кремния, Эрбий, Лазерное легирование, Фотонные интегральные схемы, Источник излучения