Подробное описание документа

Вишняков Г. Н., Минаев В. Л., Самойленко А. А.
   Метрологическое обеспечение средств измерений толщины оптических покрытий / Вишняков Г. Н., Минаев В. Л., Самойленко А. А. // ХОЛОЭКСПО 2024: : тезисы докладов 21-ой Международной конференции по голографии и прикладным оптическим технологиям, Казань, 9-13 сентября 2024 года / Общества ограниченной ответственности "Холоэкспо наука и практика". - М., 2024. - С. 139-144.

Оптические покрытия представляют собой тонкие слои диэлектриков, металлов или полупроводников, образуемые тем или иным способом на поверхностях массивных деталей или специально приготовленных подложек. Тонкослойные покрытия широко применяют в оптике, микроэлектронике, оптоэлектронике, интегральной оптике и других областях науки и техники. Для высокоточных и бесконтактных измерений толщин покрытий и их комплексного показателя преломления в основном используются спектральные рефлектометры и эллипсометры. В докладе описана система государственного метрологического обеспечения таких средств измерений толщин покрытий в широком диапазоне от 1 нм до 50 мкм.
Ключевые слова: Эллипсометрия, Спектральная рефлектометрия, Оптическое покрытие, Метрологическое обеспечение