Подробное описание документа

   Лазерное нано/микроструктурирование и сверхлегирование кремния / Настулявичус А. А., Кудряшов С. И., Ултургашева Е. В., Ковалев М. С., Сцепуро Н. Г., Подлесных И. М. // ХОЛОЭКСПО 2024: : тезисы докладов 21-ой Международной конференции по голографии и прикладным оптическим технологиям, Казань, 9-13 сентября 2024 года / Общества ограниченной ответственности "Холоэкспо наука и практика". - М., 2024. - С. 245-246.

Под действием многоимпульсного лазерного излучения видимого и ИК-диапазона нано- и фемтосекундной длительности получены образцы сверхлегированного кремния с содержанием легирующей примеси (азот, се-ра) до 4 ат. %. С помощью сканирующей электронной микроскопии и энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии охарактеризован микрорельеф поверхности и проанализирован химический состав модифицированного поверхностного слоя. Проведено исследование спектров отражения и пропускания на-но/микроструктурированных легированных областей в диапазоне 650–25000 см–1.
Ключевые слова: Кремний, -фемто, -наносекундные лазерные импульсы, Легирование, Лазерный отжиг, ИК-фотоника