Подробное описание документа
Алиханов О. Э. О.
Уточнение результатов моделирования магнетронного осаждения с использованием нейросети / Алиханов О. Э. О., Беликов А. И. // Технологии разработки и отладки сложных технических систем : материалы 9-ой Всероссийской научно-практическойя конференции, Москва, 5-6 апреля 2023 года : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет), Центр инженерных технологий и моделирования "Экспонента". - 2024. - Т. 1. -
Представлены результаты дополнения разработанной программы «TFDepositionR» функцией, позволяющей уточнять результаты моделирования магнетронного осаждения для конкретной установки вакуумного напыления. Дополнение к программе основано на нейронной сети, которая была подобрана и отлажена для конкретной задачи. Результаты тестирования показывают ошибку не более 10%.
004.94 Имитационное компьютерное моделирование
Статья опубликована в следующих изданиях
Т. 1. - 2024. - 434 с. : ил. - Библиогр.