Подробное описание документа

Статья

Алиханов О. Э. О., Беликов А. И.
Уточнение результатов моделирования магнетронного осаждения с использованием нейросети / Алиханов О. Э. О., Беликов А. И. // Технологии разработки и отладки сложных технических систем : материалы 9-ой Всероссийской научно-практическойя конференции, Москва, 5-6 апреля 2023 года : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет), Центр инженерных технологий и моделирования "Экспонента". - 2024. - Т. 1. - С. 24-31.

Аннотация

Представлены результаты дополнения разработанной программы «TFDepositionR» функцией, позволяющей уточнять результаты моделирования магнетронного осаждения для конкретной установки вакуумного напыления. Дополнение к программе основано на нейронной сети, которая была подобрана и отлажена для конкретной задачи. Результаты тестирования показывают ошибку не более 10%.

УДК
004.94 Имитационное компьютерное моделирование

Авторы МГТУ

Алиханов Орхан Эльдар Оглы

Беликов Андрей Иванович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 24-31

Технологии разработки и отладки сложных технических систем : материалы 9-ой Всероссийской научно-практическойя конференции, Москва, 5-6 апреля 2023 года : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет), Центр инженерных технологий и моделирования "Экспонента". - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2024. - ISBN 978-5-7038-6388-6.
Т. 1. - 2024. - 434 с. : ил. - Библиогр. в конце статей. - ISBN 978-5-7038-6389-3.

подробнее