Подробное описание документа

Машошин Д. А., Денисов Д. Г., Барышников Н. В.
   Исследование точностных возможностей технической реализации метода дифференциального рассеяния на базе роботизированного комплекса / Машошин Д. А., Денисов Д. Г., Барышников Н. В. // Оптический журнал. - 2025. - Т. 92, № 3. - С. 79-88.

Предмет исследования. Техническая реализация метода дифференциального рассеяния в виде роботизированного комплекса для контроля качества оптических поверхностей субнанометровой шероховатости. Цель работы. Определение погрешности углового позиционирования запястья роботизированного комплекса при реализации метода дифференциального рассеяния в задачах контроля параметров шероховатости оптических поверхностей, а также оценка влияния погрешности на результат измерения шероховатости поверхности. Метод. Экспериментальное определение погрешности углового позиционирования и оценка влияния измеренной погрешности путем математического моделирования. Основные результаты. Представлена оригинальная схема технической реализации метода дифференциального рассеяния на основе роботизированного комплекса и рассчитана угловая повторяемость положения торцев роботов-манипуляторов, погрешность их углового позиционирования и исследовано ее влияние на результат измерения. Практическая значимость. Полученные в работе результаты определения точности технической реализации метода дифференциального рассеяния способствуют созданию готового продукта - оптико-электронного комплекса аппаратуры контроля качества оптических поверхностей, способного измерять шероховатость на уровне единиц ангстрем.
Ключевые слова Метод дифференциального рассеяния, роботизированный комплекс, измерение шероховатости, погрешность углового позиционирования