Подробное описание документа

   Диссертация

Зикий Е. В.
   Исследование и разработка технологии формирования базовых слоёв сверхпроводниковых интегральных схем на основе тантала и ниобия : 2. 2. 3-Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники : дис... ктн / Зикий Е. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - М., 2025. - 127 л. : ил.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметные рубрики

• Интегральные схемы - Диссертации

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.221л, УЛК, ауд. 221л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л