Подробное описание документа

Андреев Д. В., Корнев С. А., Андреев В. В.
   Влияние материала затвора на процессы сильнополевой деградации структур металл — диэлектрик — полупроводник / Андреев Д. В., Корнев С. А., Андреев В. В. // Необратимые процессы в природе и технике : сборник статей 13-ой Всероссийской конференции, Москва, 28-30 января 2025 года : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - 2025. - Т. 1. - С. 7-9.

Аннотация. Проведено сравнительное исследование необратимых физических процессов деградации структур металл — диэлектрик полупроводник (МДП) на основе пленок диоксида кремния с алюминиевым и поликремниевым затвором. Изучение деградационных процессов проводилось на основе метода сильнополевой инжекции электронов в диэлектрик в режиме возрастания плотности инжекционного тока до заданной величины, с использованием специальных измерительных режимов при низкой плотности инжекционного тока. Показано, что использование поликремниевого затвора, легированного фосфором, позволяет существенно снизить скорость протекания деградационных процессов в подзатворном диэлектрике и более чем на порядок повысить среднюю величину заряда, инжектированного в диэлектрик до его пробоя.
Ключевые слова: МДП-структура, деградационные процессы, подзатворный диэлектрик, заряд, инжектированный до пробоя, сильные электрические поля