Подробное описание документа

   Атомистическое моделирование алмазоподобных покрытий / Карцев А. И., Кущук Л. И., Прилуцкая М. С., Михалев П. А., Макеев М. О. // Необратимые процессы в природе и технике : сборник статей 13-ой Всероссийской конференции, Москва, 28-30 января 2025 года : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - 2025. - Т. 2. - С. 83-86.

В данной работе для создания атомистических моделей пленки углерода на кремниевой подложке с использованием методов машинного обучения было проведено имитационное моделирование процесса формирования тонкопленочного покрытия из газовой фазы. Исследовано влияние изменения температуры подложки и скорости релаксации на структурные свойства тонкой пленки. Также обсуждается связь модельных условий с формированием реальных фаз и фазовым равновесием в тонких пленках, получаемых в экспериментах по плазменному осаждению.
Ключевые слова: теория функционала плотности, активные обучение, машинно-обучаемые потенциалы, алмазоподобные покрытия, молекулярная динамика