Подробное описание документа

Статья

Корнев С. А., Андреев В. В.
Алгоритм программы расчета показателей надежности подзатворного диэлектрика МДП-приборов / Корнев С. А., Андреев В. В. // Наукоёмкие технологии в приборо- и машиностроении и развитие инновационной деятельности в вузе : материалы Региональной научно-технической конференции (Калуга, 23 - 25 апреля 2024 года) : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - 2025. - Т. 1. - С. 107-109.

Аннотация

Рассмотрен алгоритм программы для определения параметров надежности подзатворного диэлектрика МДП приборов. Показано, что данная программа может применяться для расчета таких основных показателей надежности, как коэффициент выхода годных, процент дефектных структур, вызванных внешними дефектами, время наработки на отказ и плотность распределения дефектов по пластине. Показана возможность применения данной программы для контроля и оптимизации
технологического процесса производства интегральных микросхем.
Ключевые слова: МДП-структура, диэлектрическая пленка, дефектность подзатворного диэлектрика, надежность, МДП-прибор

УДК
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Авторы МГТУ

Корнев Сергей Александрович

Андреев Владимир Викторович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 107-109

Наукоёмкие технологии в приборо- и машиностроении и развитие инновационной деятельности в вузе : материалы Региональной научно-технической конференции (Калуга, 23 - 25 апреля 2024 года) : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2025. - ISBN 978-5-7038-6513-2.
Т. 1. - 2025. - 436 с. : ил. - Библиогр. в конце статей. - ISBN 978-5-7038-6513-2.

подробнее