Подробное описание документа

Ефременко Е. И., Кузнецов В. В.
   Способ локализации мест статического пробоя с помощью тепловизора в микроэлектронике / Ефременко Е. И., Кузнецов В. В. // Наукоёмкие технологии в приборо- и машиностроении и развитие инновационной деятельности в вузе : материалы Региональной научно-технической конференции (Калуга, 23 - 25 апреля 2024 года) : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - 2025. - Т. 1. - С. 157-161.

Представлены проблемы выявления электростатического пробоя, его визуализации для проведения анализа на производстве. Рассмотрены сложности анализа микросхем со статическим пробоем. Приведен пример установки и как с ее помощью микросхемы на производстве проходят проверку статического электричества. Приведены примеры микросхем с повреждениями в результате электростатического пробоя и его последствия в виде изменения параметров схемы и визуальных повреждений на кристалле. Предложен метод по ускорению локализации статического пробоя с помощью тепловизора.
Ключевые слова: статический пробой, анализ, визуализация, отказ, безопасность