Подробное описание документа

Кислов К. А., Макарова К. Т., Моисеев К. М.
   Отработка технологии формирования медных электродов на гибких полимерных подложках / Кислов К. А., Макарова К. Т., Моисеев К. М. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов ( с международным участием), 17-я, Москва, 21-24 сентября 2024 г. : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет), Союз машиностроителей России. - 2025. - Т. 1. - С. 239-242.

Медные электроды, в основном, изготавливаются на жестких подложках, таких как стекло или керамика. Однако растущий спрос на гибкие и пор-тативные электрохимические устройства [1] привел к необходимости разработки технологий формирования медных электродов на полимерных подложках. В статье рассматривается технология формирования медных электродов на гибких полимерных подложках из ПВДФ пленки. Произведена отработка скоростей осаждения меди методом магнетронного распыления на твердых подложках. Подобран режим нанесения медных электродов на полимерные подложки из ПВДФ пленки. Рассмотрен способ измерения поверхностного сопротивления для контроля качества нане-сенных покрытий для датчиков.
Ключевые слова: сегнетоэлектрические полимеры, ПВДФ, магнетронное распыление, медь, скорость осаждения, поверхностное сопротивление