Подробное описание документа

Руденко А. М.
   Технологические и конструкторские возможности создания устройств электроники / Руденко А. М. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов ( с международным участием), 17-я, Москва, 21-24 сентября 2024 г. : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет), Союз машиностроителей России. - 2025. - Т. 1. - С. 247-251.

Работа посвящена современному производству радиотехнических эле-ментов, их актуальности, тенденции и дальнейшие перспективы в использовании. Представлена технология многослойных устройств на базе микрополосковых линий, а также СВЧ-устройств. Рассмотрены самые актуальные и наиболее популярные технологии нанесения тонких пленок, которые используются в единичном и массо-вом производстве. Проведена сравнительная характеристика методов нанесения слоя металлизации и был выбран наиболее актуальный и доступный вариант. Предложена оснастка для модернизации конструкции вакуумного метода нанесения, исходя из формулы получения пленки магнетронным распылением. Спроектирована модель в системе автоматизированного проектирования.
Ключевые слова: микрополосковые компоненты, методы нанесения пленок, много-слойные структуры в электронике, производство СВЧ-компонентов, вакуумные технологии