Подробное описание документа

Фельде А. А.
   Оценка эффективности ионной обработки при формировании тонкопленочного покрытия на поверхности эластичного материала / Фельде А. А. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов ( с международным участием), 17-я, Москва, 21-24 сентября 2024 г. : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет), Союз машиностроителей России. - 2025. - Т. 1. - С. 257-260.

Рассмотрена область применения металлизированных гибких материалов. Приведена актуальность изучения ионной обработки эластичных материалов. Представлено технологическое оборудование для нанесения тонких пленок с предварительной ионной обработкой, а также исследовательское оборудование — сканирующий электронный микроскоп. Проведено сравнение тонкопленочного медного покрытия на эластомере с ионной обработкой и без нее. Получены СЭМ-изображения поверхности тонкой пленки на эластичном материале. Проведено сравнение СЭМ-изображений тонких пленок на поверхности твердой подложки. Даны рекомендации по предварительной ионной обработке для эластомера с наиболее высокой адгезией для автономного источника ионов.
Ключевые слова: ионная обработка, тонкие пленки, эластомер, сканирующая электронная микроскопия, топология тонкой пленки, эластичный материал