Подробное описание документа

Щербак Е. С., Наумова А. М., Кирьянов С. В.
   Исследование геометрических параметров островковых тонких пленок / Щербак Е. С., Наумова А. М., Кирьянов С. В. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов ( с международным участием), 17-я, Москва, 21-24 сентября 2024 г. : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет), Союз машиностроителей России. - 2025. - Т. 1. - С. 265-270.

Описаны требования к островковым тонким пленкам для возможности их внедрения в устройства наноинженерии. Рассмотрены методы исследования их геометрических характеристик с помощью программ Mipar и Image Analysis 3.5. Представлены изображения островковых тонких пленок, полученные на атомно-силовом и сканирующем электронном микроскопах. Выделены преимущества и недо-статки каждой из программ. Приведен сравнительный анализ рассмотренных методов в табличной форме. Представлены примеры исследования латерального размера островковой структуры, расстояний между островковыми структурами, высоты и площади островковой структуры в программах Mipar и Image Analysis 3.5.
Ключевые слова: островковые тонкие пленки, обработка изображений, Mipar, Image Analysis, геометрические характеристики