Подробное описание документа

Диссертация

Манегин Д. С.
Исследование параметров плазмы и выходного ионного потока бессеточных ионных источников для ионно-плазменной обработки поверхности : 1. 1. 9-Механика жидкости, газа и плазмы : дис... ктн / Манегин Д. С. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - М., 2025. - 149 л. : ил. - Библиогр.: л. 130-147.

УДК
537.534.2 Источники положительных ионов

Предметная рубрика

Ионные источники (физ.) - Диссертации

Общее кол-во в фондах
1 экз.

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Преподавательский абонемент ауд.221л, УЛК, ауд. 221л
Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л