Подробное описание документа

   Влияние термообработки на оптоэлектронные характеристики покрытий из оксида индия-олова / Паршин Б. А., Бутина М. В., Макеев М. О., Воронин А. С., Бурьянская Е. Л., Фадеев Ю. В., Моисеев К. М., Хыдырова С. Ю., Михалев П. А. // Оптический журнал. - 2025. - Т. 92, № 9. - С. 82-91.

Предмет исследования. Влияние отжига в атмосфере азота на оптоэлектронные характеристики и морфологию поверхности тонких пленок оксида индия-олова. Цель работы. Оптимизация условий получения тонких пленок оксида индия-олова с заданными оптоэлектронными и морфологическими характеристиками путем варьирования их толщины и проведения отжига при 200 °C в атмосфере азота. Метод. Оптические свойства пленок, включая прозрачность и мутность, изучались методом спектрофотометрии. Электрические характеристики определялись методом четырехзондового анализа, применявшимся для измерения поверхностного сопротивления. Для исследования морфологии поверхности применялась атомно-силовая микроскопия с измерением шероховатости и определением размеров зерен посредством автокорреляционного анализа. Основные результаты. Отжиг в атмосфере азота улучшил оптоэлектронные характеристики пленок оксида индия-олова: повысилась их прозрачность, снизилось поверхностное сопротивление, что подтверждено расчетом параметра качества. Анализ морфологии поверхности выявил уменьшение размеров зерен и увеличение их плотности с ростом толщины пленок, что связано с активацией процессов диффузии и нуклеации. Практическая значимость. Полученные результаты подтверждают эффективность отжига в атмосфере азота как метода улучшения характеристик покрытий из оксида индия-олова, что расширяет перспективы их применения в составе оптоэлектронных устройств, требующих высокой прозрачности, низкого сопротивления и стабильности структуры.
Ключевые слова покрытия из оксида индия-олова, светопропускание, мутность, поверхностное сопротивление, термообработка