Подробное описание документа

Ануров А. Е., Дидык П. И., Жуков А. А.
   Средства создания устройств микросистемной техники: материалы, технологии, деградационные процессы, основные производители и тенденции развития : учебное пособие / Ануров А. Е., Дидык П. И., Жуков А. А. ; ред. Жуков А. А. - М. : КУРС, 2026. - 110 с. : ил. - Библиогр.: с. 100-109. - ISBN 978-5-907228-73-3.

Учебное пособие "Средства создания устройств микросистемной техники. материалы, технологии, деградационные процессы, основные производители и тенденции развития" включает в свой состав разделы, посвящённые современным материаловедческо-технологическим вопросами изготовления устройств микросистемной техники, сведениям о системах автоматизированного проектирования, деградационным процессам под влиянием дестабилизирующих факторов, данным об основных разработчиках и производителях, а также прогнозу развития микросистемной техники.
Пособие предназначено для студентов, обучающихся по специальности 2.28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника" при изучении дисциплины "Основы конструирования микросистемной техники", а также в качестве вспомогательного материала магистрантам по направлению подготовки 2.12.04.01 "Приборостроение" по дисциплине "Нано- и микросистемная техника и технология в производстве приборов и измерительных систем летательных аппаратов" и аспирантам по специальностям2.28.06.01 "Нанотехнологии и наноматериалы", 2.11.06.01 "Электроника, радиотехника и системы связи", 2.11.02.13 "Твердотельная электроника".