Личный кабинет
Подробное описание документа
Вагин В. П.
Применение компьютерного моделирования в пучковых технологиях / Вагин В. П., Савичев В. В. - URL: https://vestniken.bmstu.ru/catalog/phys/hidden/566.html (дата обращения: 11.03.2026) // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Естественные науки. - 2000. - № 1. -
Приведены разработанные модели, вычислительные методики и оригинальные результаты, обеспечивающие моделирование с приемлемой точностью базовых процессов пучковых технологий. К ним относится моделирование воздействия электронов с энергиями 5 кэВ - 3 МэВ, легких ионов с энергиями 10 кэВ - 50 МэВ, кинетического транспорта молекулярных пучков в технологиях газового напыления и кинетики газовых смесей. Приведенные результаты ориентированы на разработку и модернизацию технологий радиационной обработки и модификации материалов, технологий выращивания пленок и покрытий, а также на решение других задач взаимодействия ионно-электронных и молекулярных пучков с материалами.
519.854.6 Вычислительные методы
Статья опубликована в следующих изданиях
№ 1. - 2000.
