Подробное описание документа
Осипович И. Р.
Интерферометрический метод контроля формы асферических поверхностей качения прецизионных подшипников / Осипович И. Р., Пуряев Д. Т. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 1999. - № 3. -
Рассмотрены принципиальные схемы измерительной ветви лазерного интерферометра для контроля формы конических, цилиндрических и торических поверхностей качения деталей прецизионных подшипников. Приведены основные геометрические соотношения схем и методы проведения измерений, а также результаты экспериментальной проверки схемы базовой измерительной ветви. Точность контроля формы асферических поверхностей составляет 0,05...0,1 мкм в зависимости от параметров поверхности.
