Подробное описание документа

Статья

Применение абразивно-экструзионной обработки при геттерировании кремниевых пластин / Соленов В. И., Назаров Н. Г., Соленов Д. В., Хошафян Д. С. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2001. - № 3. - С. 94-99.

Читать онлайн

vestnikprib.bmstu.ru/catalog/techno/hidden/474.html

https://vestnikprib.bmstu.ru/catalog/tec…

Аннотация

Исследован один из способов механического геттерирования кремниевых пластин - абразивно-экструзионная обработка. Результаты исследования позволяют сделать вывод, что экструзия абразивной пасты создает равномерное напряженное состояние по всей поверхности обрабатываемой пластины. Таким образом, возможно применение этого способа в качестве альтернативного метода геттерирования кремниевых пластин.

Авторы МГТУ

Соленов Владимир Ильич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 94-99

Журнал

Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - ISSN 0236-3933 (print). - ISSN 2687-0614 (web).
№ 3. - 2001.

подробнее