Личный кабинет
Подробное описание документа
Шашин Д. Е.
Формирование фотокаталитических пленок TiO2 методом реактивного магнетронного распыления с применением квазизамкнутого пространства / Шашин Д. Е., Дьячков А. Д. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2024. - № 3. -
Скачать документ
Рассмотрено влияние квазизамкнутого пространства на кристаллическое строение и фотокаталитическую активность пленок диоксида титана, получаемых по технологии реактивного импульсного магнетронного распыления. Проведен анализ современных достижений в области технологий формирования активных фотокаталитических слоев, выявлены преимущества и недостатки существующих технологий. Описаны оборудование, последовательность и принципы создания квазизамкнутого пространства в вакуумной рабочей камере. Показаны этапы и основные технологические параметры для формирования фотокаталитических пленок методом реактивного импульсного магнетронного распыления с применением квазизамкнутого пространства и без его применения. Приведены результаты исследования полученных пленок спектрофотометрическим методом, построены спектры пропускания. Показаны результаты исследований кристаллического строения полученных пленок диоксида титана с помощью дифрактометрического метода. Изучено влияние применения квазизамкнутого пространства в технологии импульсного реактивного магнетронного распыления на кристаллическую струтуру и фотокаталитическую активность диоксида титана. Описана методика исследования фотокаталитической активности пленок, основанная на разложении метиленового синего раствора. Доказано, что применение квазизамкнутого пространства при формировании пленок диоксида титана методом реактивного импульсного магнетронного распыления увеличивает их фотокаталитическую активность Просьба ссылаться на эту статью следующим образом: Шашин Д.Е., Дьячков А.Д. Формирование фотокаталитических пленок TiO2 методом реактивного магнетронного распыления с применением квазизамкнутого пространства. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Приборостроение, 2024, № 3 (148), с. 75–90. EDN: LILUCB
Статья опубликована в следующих изданиях
№ 3. - 2024.
