Личный кабинет
Подробное описание документа
Бусурин В. И.
Расчет балочного микрооптоэлектромеханического преобразователя линейного ускорения на основе оптического туннельного эффекта / Бусурин В. И., Макаренкова Н. А., Зо Лвин // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2024. - № 4. -
Скачать документ
Рассмотрена функциональная схема преобразователя линейного ускорения с модулятором на основе оптического туннельного эффекта для съема информации о нанометровых перемещениях балочного чувствительного элемента, возникающих под действием линейных ускорений. Приведен набор параметров оптического модулятора микрооптоэлектромеханического преобразователя для измерения линейных ускорений в заданном диапазоне с заданной погрешностью нелинейности функции преобразования. Определена зависимость погрешности нелинейности функции преобразования от диапазона изменения чувствительности оптического модулятора на основе оптического туннельного эффекта при различных длинах волн. Диапазон перемещения чувствительного элемента вычислен по допустимому изменению чувствительности оптического модулятора, зависящей от значения параметра m, найденного с заданной погрешностью нелинейности функции преобразования. Предложен алгоритм расчета балочного микрооптоэлектромеханического преобразователя линейного ускорения на основе оптического туннельного эффекта, использующий математическую модель преобразователя линейного ускорения и позволяющий по набору исходных данных определить параметры оптической, механической и электронной частей преобразователя. Разработано программное обеспечение, реализующее алгоритм расчета конструктивных параметров балочного микрооптоэлектромеханического преобразователя линейного ускорения Работа выполнена при поддержке гранта РНФ (проект № 23-29-00954, https://rscf.ru/project/23-29-00954) Просьба ссылаться на эту статью следующим образом: Бусурин В.И., Макаренкова Н.А., Зо Лвин Хту. Расчет балочного микроопто-электромеханического преобразователя линейного ускорения на основе оптического туннельного эффекта. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Приборостроение, 2024, № 4 (149), с. 25–40. EDN: ZRJVRH
Статья опубликована в следующих изданиях
№ 4. - 2024.
