Подробное описание документа

Оглавление

Журнал

Известия ВУЗов России. Радиоэлектроника.
Т. 29, № 1-2. - 2026.

Содержание

с. 40-54

Статья в журнале

Сидорова С. В., Купцов А. Д., Пименов И. Е.
Расчет параметров и моделирование системы ионной обработки в вакууме / Сидорова С. В., Купцов А. Д., Пименов И. Е.

подробнее