Личный кабинет
Подробное описание документа
Журнал
Известия ВУЗов России. Радиоэлектроника.
Т. 29, № 1-2. - 2026.
Скачать оглавлениеСодержание
с. 40-54
Статья в журнале
Сидорова С. В., Купцов А. Д., Пименов И. Е.
Расчет параметров и моделирование системы ионной обработки в вакууме / Сидорова С. В., Купцов А. Д., Пименов И. Е.
Расчет параметров и моделирование системы ионной обработки в вакууме / Сидорова С. В., Купцов А. Д., Пименов И. Е.
