Подробное описание документа

Александрова О. А., Лебедев А. О., Мараева Е. В.
   Введение в технологию материалов микроэлектроники : учебник / Александрова О. А., Лебедев А. О., Мараева Е. В. - СПб. : Лань, 2025. - (Высшее образование). - ISBN 978-5-507-45478-5.
   Ч. 1 : От минерального сырья к монокристалу. - 2025. - 170 с. : табл., граф. - Библиогр.: с. 166-167. - ISBN 978-5-507-45479-2.

Рассмотрены основные процессы подготовки исходного сырья и синтеза полупроводниковых материалов. Приводятся методики расчёта технологических условий получения легированных полупроводниковых монокристаллов. Предложены задачи для самостоятельного углублённого изучения дисциплины. Приведены справочные данные, необходимые для проведения расчётов.
Предназначено для бакалавров, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника».