Подробное описание документа

Александрова О. А., Лебедев А. О., Мараева Е. В.
   Введение в технологию материалов микроэлектроники : учебник / Александрова О. А., Лебедев А. О., Мараева Е. В. - СПб. : Лань, 2025. - (Высшее образование). - ISBN 978-5-507-45478-5.
   Ч. 2 : Основы технологий разделения и очистки. - 2025. - 214 с. : ил. - Библиогр.: с. 209-211. - ISBN 978-5-507-45480-8.

Рассмотрены основные методы получения чистых и особо чистых материалов, используемых в технике и современной электронике. Приведены примеры практического использования методик очистки и особо чистых веществ в современной промышленности.
Предназначено для студентов бакалавриата, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника».