Подробное описание документа

Ботов А. Н., Адарчин С. А.
   Дефекты в ультразвуковой сварке в микроэлектронике / Ботов А. Н., Адарчин С. А. // Наукоёмкие технологии в приборо- и машиностроении и развитие инновационной деятельности в вузе : материалы Региональной научно-технической конференции, Калуга, 15-17 апреля 2025 года : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - 2026. - Т. 1. - С. 142-145.

Представлена информация об основных дефектах в ультразвуковой сварке, которая является одним из самых современных и эффективных методов соединения различных материалов. Ультразвуковая сварка уже успешно применяется в микроэлектронике при производстве микросхем. Выявлены основные причины возникновения дефектов в процессе УЗ микросварки. Приведены основные методы борьбы с ними. Особое внимание уделено дефектам холодной сварки и пережатия точки, как наиболее встречающимся в производстве.
Ключевые слова: ультразвук, ультразвуковая сварка, методы, дефект, технологии сварки