Подробное описание документа

Ефременко Е. И., Кузнецов В. В.
   Исследование воздействия термоциклирования на стойкость ИМС к электростатическому разряду / Ефременко Е. И., Кузнецов В. В. // Наукоёмкие технологии в приборо- и машиностроении и развитие инновационной деятельности в вузе : материалы Региональной научно-технической конференции, Калуга, 15-17 апреля 2025 года : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - 2026. - Т. 1. - С. 153-156.

Рассмотрено воздействие термоциклирования на стойкость микросхем (ИМС) к электростатическому разряду (ЭСР). Проведены испытания ИМС, которые проверялись на устойчивость к ЭСР после воздействия повышенной (+125 °C) и пониженной температуры (–60 °C) отдельно, а также термоциклирования при разном количестве циклов от 0 до 200. В результате испытаний зафиксированы закономерные изменения стойкости ИМС к ЭСР после температурного воздействия. Сделаны выводы о необходимости улучшения защиты ИМС и разработке новых материалов, способных минимизировать потери эффективности под воздействием термоциклирования.
Ключевые слова: электростатический разряд, термоциклирование, интегральные микросхемы, пробой