Подробное описание документа
Мелюков Д. В.
Технология бескалибровочной лазерной фототермической диагностики тонких слоев и покрытий / Мелюков Д. В., Григорьянц А. Г. - DOI 10.18698/2308-6033-2012-6-232 // Инженерный журнал: наука и инновации. - 2012. - № 6. -
Рассмотрены вопросы измерения толщины слоя или покрытия с неизвестными характеристиками. Разработана теоретическая методика, позволяющая определять абсолютную толщину слоя в пределах 50...1000 мкм. Проведены эксперименты, подтверждающие реализуемость методики с погрешностью измерений 10...15%.
