Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

   Статья

Григорьянц А. Г., Мисюров А. И., Шупенев А. Е.
   Особенности формирования субмикронных пленок теллурида висмута методом импульсного лазерного осаждения / Григорьянц А. Г., Мисюров А. И., Шупенев А. Е. - DOI 10.18698/2308-6033-2012-6-234 // Инженерный журнал: наука и инновации. - 2012. - № 6. - П.Н. 12.

Скачать документ
Полнотекстовый документ
DOI 10.18698/2308-6033-2012-6-234
engjournal.bmstu.ru/catalog/machin/laser/234.html

Использование наноразмерных термоэлектрических структур - перспективное направление развития конструкций термоэлектрических модулей. Тонкопленочные структуры теллурида висмута были получены в МГТУ им. Н.Э. Баумана методом импульсного лазерного осаждения. Проанализированы толщины и поверхности осажденных при различных режимах структур теллурида висмута. Приведена зависимость толщины осажденного слоя от температуры нагревателя и энергетических параметров лазерного излучения. Даны общие оценки стехиометрической однородности пленок в зависимости от режимов осаждения.

Статья опубликована в следующих изданиях

п.н. 12
   Журнал
   Инженерный журнал: наука и инновации. - ISSN 2308-6033 (web).
   № 6. - 2012.