Подробное описание документа

Голубенко Ю. В., Богданов А. В.
   Некоторые аспекты применения ультрафиолетового лазерного излучения в технологиях микроэлектроники / Голубенко Ю. В., Богданов А. В. - DOI 10.18698/2308-6033-2012-6-238 // Инженерный журнал: наука и инновации. - 2012. - № 6. - П.Н. 16.

Скачать документ

Полнотекстовый документ

DOI 10.18698/2308-6033-2012-6-238

https://doi.org/10.18698/2308-6033-2012-…

engjournal.bmstu.ru/catalog/machin/laser/238.html

https://engjournal.bmstu.ru/catalog/mach…

Рассмотрены возможности применения ультрафиолетового лазерного излучения в технологиях микроэлектроники.