Личный кабинет
Подробное описание документа
Исследование интерференционных методов контроля формы и качества высокоточных поверхностей крупногабаритных оптических деталей / Барышников Н. В., Гладышева Я. В., Денисов Д. Г., Животовский И. В., Патрикеев В. Е., Судариков И. Н. - DOI 10.18698/2308-6033-2012-9-345 // Инженерный журнал: наука и инновации. - 2012. - № 9. -
Скачать документ
Рассмотрены методы контроля формы и качества поверхностей крупногабаритных оптических деталей. Приведена современная методика измерения параметров неоднородностей профиля оптических поверхностей различных периодов пространственных частот на основании расчета функции спектральной плотности мощности PSD(vx, vy). Рассмотрены требования, предъявляемые к качеству оптических поверхностей высокоточных деталей в соответствии с данной методикой. Проведен анализ существующего интерферометрического оборудования, технические характеристики которого позволяют проводить измерения в выделенных спектральных диапазонах с необходимой погрешностью. Рассмотрена возможность использования интерферометров NanoCam Dynamic Profiler (4D Technology) и Intellium H2000 (ESDI) для контроля крупногабаритных оптических деталей.
Статья опубликована в следующих изданиях
№ 9. - 2012.
